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価格:31494円
超高純度CVD-SiC単体を先端ビットに使用したシリコンウェハー専用ハイテクピンセット ●真空蒸着(CVD)法による不純物ppbレベルの超高純度SiC(炭化ケイ素)を先端ビットに 装着した画期的な製法によるシリコンウェハー専用ピンセット。●従来のステンレス製ピンセットの重大な欠点であったシリコンウェハーへの重金属汚染が全くありません。●耐薬品性と耐熱性に極めて優れ、弗硝酸等によるウェハー洗浄工程での使用も可能です。●軽量(ρ=3.8)、非磁性、耐摩耗性に優れる等の特徴もあります。●ピンセット本体は、耐食性、非磁性、軽量等の特性を備えたチタン合金製です。全長150mm●先端形状A:11mm B:9mm C:2mm D:3.6mm E:2.4mm■特性項 目特性値密 度 (kg/M3)3.21×103曲げ強度 (kgf/mm2)80引張り強度(kgf/mm2)60ヤング率 (kgf/mm2)50,000硬 さ (kgf/mm2)HK:3,500線膨張係数(I/℃)4.5×10−6熱伝導率 (cal/cm・s・℃)0.16比抵抗 (Ω・m)102(※)室温での値■耐食性雰囲気適用軸径時間・・・

