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【セブン-イレブンで24時間受取りOK・送料0円!】 著者/訳者名:菊地正典/監修 出版社名:日本実業出版社 発行年月:2007年04月 関連キーワード:ズカイ デ ワカル ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ずかい で わかる はんどうたい せいぞう そうち、 キクチ,マサノリ きくち,まさのり、 ニホン ジツギヨウ シユツパンシヤ ニホンジツギヨウシユツパンシヤ 5915 にほん じつぎよう しゆつぱんしや にほんじつぎようしゆつぱんしや 5915 「産業のコメ、原油」とも呼ばれる半導体。その半導体をつくるための装置が半導体製造装置。拡散工程から特性検査工程までの各工程で使用される装置の構造、操作原理、技術のすべてがこの一冊でわかります。 第1章 半導体の製造工程を概観する(前工程と後工程素子形成工程(前工程FEOL) ほか)第2章 前工程(洗浄〜ポストベーク)で行なう主な工程と装置(洗浄乾燥 ほか)第3章 前工程(ドライエッチング〜めっき)で行なう主な工程と装置(ドライエッチングレジスト剥離・アッシング ほか)第4章 後工程(ダイシング〜ボンディング)で行なう主な工程と装置(パッケージ・・・

